(2021)Reliability Analysis of Electronic Device by Using Synchrotron X-ray Nano-CT

セラミックス 56（2021）No. 1 Gaku OKUMA, Naoya SAITO, Kotaro MIZUNO and Fumihiro WAKAI 1. 서론 2010년대 이후 우리나라의 Spring-8, 유럽의 ESRF, 미국의 APS 등 세계 각국의 싱크로트론 방사광 시설에서 결상형 방사광 마이크로토모그래피 장치가 가동되어 방사광 X선 나노CT(나노토모그래피)로 불리고 있습니다. 이는 3차원 X선 현미경으로 기능합니다. 성능은 점차 향상되어 현시점에서의 화소(pixel) 치수는 50nm, 분해능으로 100nm에 달합니다. 이는 기존 산업용 X선 마이크로토모그래피 장치의 성능 한계를 훨씬 능가하여 기존에 불가능했던 3차원 미세구조의 가시화를 가능케 했습니다. Spring-8의 멀티스케일 CT는 광시야에서 저분..

2022.11.27