Journal of the Korean Ceramic Society Vol. 46, No. 2, pp. 189~199, 2009. 박재성† ·김영태·허강헌·한영호 1. 서론 BaTiO3는 multilayer ceramic capacitor(MLCC), thermister, transducer 등의 세라믹 조성에 사용되는 대표적인 물질이 다. 대표적인 수동부품인 MLCC의 경우, 전자기기의 소형 화에 따른 수동부품의 downsizing을 구현하기 위해 유전체 두께는 얇아지고 그 적층수는 급격히 증가하는 경향을 보 이고 있다. 유전체층의 두께 감소를 위해서는 보다 작은 size(nano size)의 BaTiO3를 사용해야 하며 nano size의 BaTiO3를 사용할 경우 particle의 균일한 분산은 더..

Karen Buechler, Steven George, Alan Weimer, and P. Michael Masterson ALD NanoSolutions, Inc. 서론 거의 모든 기존 산업에서 재료 문제가 존재합니다. 이러한 문제에는 열 관리, 확산 저항 특성, 화학 반응 특성, 표면 특성 불일치, 구조적 무결성 및 전기적 특성이 포함됩니다. 이런 문제를 해결하기 위한 재료가 발견되면서 기존 재료의 조합이 이상적인 솔루션인 경우가 많다. 대부분 경우 제2의 물질의 초박막 층으로 캡슐화된 미세 입자가 문제 해결에 필요진다. 표면 특성이 주변 환경과 바람직하게 상호 작용하도록 수정될 때 입자는 벌크 특성을 유지합니다 최근에는 화학증기증착물(CVD)에 의한 박막에 의한 기판 코팅에 대한 연구가 주를 이뤘다..