(Powder Coating) Sputter를 이용한 Powder 코팅

http://www.material-sys.com/content41/

 

이런 설비로 파우더를 코팅하면 좋을 듯하여 웹페이지를 번역해둡니다

 

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분말 스패터란 일반적으로 판상의 시료, 큰 벌크 등에 대해서만 행해지고 있는 스패터링을 미립자에 대해서 실시하기 위해서 특화된 기술입니다.다각 배럴 내에 기재가 되는 분말을 투입하여 회전시키면서 성막을 실시함으로써 균일적이고 효율적으로 분말에 코팅합니다.분말코팅은 촉매, 화장품 원료, 장식용, 세라믹 원료 등 다양한 용도로 사용되는데 최근 리튬이온전지 재료 제작 기술로 각광받고 있습니다.토요시마 제작소에서는, 토야마 대학 아베 교수와 공동 연구를 거치고, 분말 코팅(스퍼타·표면 개질)의 시작 성막을 개시했습니다.

 

Li3PO4 분말에 Li3BO3 성막한 샘플
입경 30μm의 Li3PO4 분말에 Li3BO3를 약 10~40nm 성막한 샘플 TEM, EDS상입니다.

Li3PO4 분말을 표면 질화하여 LiPON 제작한 샘플
입경 30μm의 Li3PO4 분말을 표면 질화한 샘플입니다.180분만에 1μm의 질화층이 형성되어 있습니다