(Bake Out) 고온과열수증기 발생 장치의 개발
평성25년도 전략적기반기술고도화지원사업 연구개발성과등 보고서 개요판 파인세라믹센터 2.1 고온과열수증기 생성장치의 설계 및 제조 고온과열수증기 생성장치는 LSM 히터를 유도과열로 고온으로 만든 것에 포화수증기를 접촉시켜 열교환함으로써 고온의 과열수증기를 생성시키는 방식으로 개발을 진행하였다. 그림 2-1-1에 고온과열수증기 생성장치의 구성도를 나타낸다. 기존 시작기에서는 증기량이 15kg/h였기 때문에 유도 코일의 개량과 LSM 히터의 증량을 실시했다. LSM 히터를 탑재하는 배관에는 내열 충격성이 뛰어난 AT 세라믹스를 채용했다.또 LSM 히터를 유도 가열할 때 고주파 전원 및 유도 코일의 발열이 커서 서모 쿨러로 냉각했다. 포화수증기의 생성라인으로서 수돗물용과 더불어 수도수중에 포함된 나트륨이나 염소..
2021.09.04