제5장3절 적층열압착
1. 박리 적층 공법 적층 열압착 공정은 세라믹 그린시트 상태에서 MLCC의 그린 칩으로 성형하는 공정으로, 박리 적층 공법이 일반적이다. 박리 적층 공법에서는 박리, 적층, 열 압착의 3개의 단계가 있다. 즉, 세라믹 그린 시트에 소정의 내부전극을 인쇄, 건조한 것을 캐리어 필름에서 박리한 후, 대향 전극이 번갈아 적층되어, 마지막에는 열을 가하며 프레스하여 접착되어 일체화된다. 이러한 일련의 공정도 MLCC의 특성이나 신뢰성에 큰 영향을 주기 때문에 상당히 중요한 공정이다. 박리 공정은 세라믹 그린 시트를 펀치(금형)에 진공 흡착으로 고정하고 캐리어(PET)필름을 박리하는 공정이다. 모식도를 그림1에 나타내었다. 여기에서는, 얇은 세라믹 그린 시트에 핀 홀, 늘어남, 파괴 등의 결함이 발생하기 쉽기 ..
2022.07.27