(Coating)ATOMIC LAYER DEPOSITION, AN ENABLING COATING TECHNOLOGY FOR THE NANOTECHNOLOGY FUTURE

Karen Buechler, Steven George, Alan Weimer, and P. Michael Masterson ALD NanoSolutions, Inc. 서론 거의 모든 기존 산업에서 재료 문제가 존재합니다. 이러한 문제에는 열 관리, 확산 저항 특성, 화학 반응 특성, 표면 특성 불일치, 구조적 무결성 및 전기적 특성이 포함됩니다. 이런 문제를 해결하기 위한 재료가 발견되면서 기존 재료의 조합이 이상적인 솔루션인 경우가 많다. 대부분 경우 제2의 물질의 초박막 층으로 캡슐화된 미세 입자가 문제 해결에 필요진다. 표면 특성이 주변 환경과 바람직하게 상호 작용하도록 수정될 때 입자는 벌크 특성을 유지합니다 최근에는 화학증기증착물(CVD)에 의한 박막에 의한 기판 코팅에 대한 연구가 주를 이뤘다..

2021.09.05